1 本年度陈说摘要来自年度陈说全文，为全面了解本公司的运营作用、财政状况及未来展开规划，出资者应当到网站仔细阅读年度陈说全文。

　　陈说期内，不存在对公司出产运营发生实质性影响的特别严重危险。公司已在陈说中详细描述或许存在的相关危险，敬请查阅第三节办理层评论与剖析“五、危险要素”部分内容。

　　3 本公司董事会、监事会及董事、监事、高档办理人员确保年度陈说内容的实在性、精确性、完好性，不存在虚伪记载、误导性陈说或严重遗失，并承当单个和连带的法令责任。

　　5 普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）为本公司出具了标准无保留定见的审计陈说。

　　考虑到公司现在处于快速展开期，研制投入等资金需求较大，为更好地维护整体股东的长远利益，公司2021年度不分配赢利，本钱公积不转增。以上赢利分配预案现已公司第二届董事会第五次会议审议经过，该预案需求公司2021年年度股东大会审议经过。

　　陈说期内，公司首要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研制、出产和出售。公司瞄准世界科技前沿，依据在半导体设备制作工业多年堆集的专业技能，进入半导体集成电路制作、先进封装、LED外延片出产、功率器材、MEMS制作以及其他微观工艺的高端设备范畴。

　　公司的等离子体刻蚀设备已运用在世界一线纳米及其他先进的集成电路加工制作出产线及先进封装出产线。公司MOCVD设备在作业抢先客户的出产线上大规划投入量产，公司已成为世界排名前列的氮化镓基LED设备制作商。

　　公司首要为集成电路、LED外延片、功率器材、MEMS等半导体产品的制作企业供给刻蚀设备、MOCVD设备及其他设备，其间首要产品的详细状况如下：

　　公司首要从事半导体设备的研制、出产和出售，经过向下流集成电路、LED外延片、先进封装、MEMS等半导体产品的制作公司出售刻蚀设备和MOCVD设备、供给配件及服务完结收入和赢利。陈说期内，公司主运营务收入来源于半导体设备产品的出售，其他收入来源于设备相关配件出售及设备支撑服务等。

　　公司首要采纳自主研制的形式。依据公司产品老练度，公司的研制流程首要包含概念与可行性阶段、Alpha阶段、Beta阶段、量产阶段。

　　公司依照刻蚀设备、MOCVD设备等不同研制方针和项目产品，组成了相对独立的研制团队。不同产品研制团队具有各自独立的机械规划、工艺开发、产品办理和技能支撑团队，而在电气工程、渠道工程、软件工程等方面则选用同享的方法进行研制支撑。经过这种矩阵办理的方法，完结了人才、营运等资源在不同的产品及技能服务之间灵敏分配，完结同享经历常识，优化资源运用功率，使公司可以快速呼应不断改动的研制要求，进行持续的技能立异。

　　为确保公司产品的质量和功能，公司拟定了严厉的供货商挑选和审阅准则。到达运营资质、研制和规划才能、技能水平、质量管控才能、出产才能、产品价格、交货周期及付款周期等很多标准要求的供货商，才可以被考虑归入公司合格供货商名录，并定时审阅。现在，公司现已与全球很多供货商建立了长时刻、安稳的合作关系。

　　公司首要选用以销定产的出产形式，施行订单式出产为主，结合少数库存式出产为辅的出产方法。订单式出产是指公司在与客户签定订单后，依据订单状况进行定制化规划及出产制作，以应对客户的差异化需求。库存式出产是指公司对设备通用组件或成批量出货设备常用组件依据内部需求及出产方案进行预出产，首要为快速呼应交期及平衡产能。

　　公司采纳直销为主的出售形式，因欧洲商场的客户较为涣散，公司在该区域经过署理商形式进行出售。公司设有全球事务部担任公司一切产品的出售办理，下设我国大陆、我国台湾、韩国、日本、新加坡、美国等国家或区域的区域出售和支撑部分。

　　半导体设备作业是一个全球化程度较高的作业，受世界经济动摇、半导体商场、终端消费商场需求影响，其展开呈现必定的周期性动摇。当微观经济和终端消费商场需求改动较大时，客户会调整其本钱性开销规划和对设备的收购方案，然后对公司的运营收入和盈余发生影响。

　　全球集成电路和以LED为代表的光电子器材的出售额算计占一切半导体产品出售额的90%以上，是半导体产品最重要的组成部分。2020年至2024年，全球半导体设备收购开销估计将坚持添加态势。依据Gartner的猜测，刻蚀设备商场规划将由2020年约123亿美元添加至2024年约152亿美元。依据Yole的猜测，氮化镓基MOCVD设备商场规划将由2020年1.9亿美元添加至2025年约2.5亿美元，功率器材外延设备商场将由2020年约2亿美元添加至2025年约3.1亿美元。公司所在的细分作业为半导体设备作业中的刻蚀设备作业和LED设备作业中的MOCVD设备作业。

　　集成电路设备包含晶圆制作设备、封装设备和测验设备等，晶圆制作设备的商场规划约占集成电路设备整体商场规划的约80%。

　　晶圆制作设备可以分为刻蚀、薄膜堆积、光刻、检测、离子掺杂等品类，其间刻蚀设备、薄膜堆积、光刻设备设备是集成电路前道出产工艺中最重要的三类设备。依据Gartner核算，2021年全球刻蚀设备、薄膜堆积和光刻设备别离占晶圆制作设备价值量约21.59%、19.19%和18.52%。

　　跟着集成电路芯片制作工艺的前进，线宽要害尺度不断缩小、芯片结构3D化，晶圆制作向7纳米、5纳米以及更先进的工艺展开。因为现在先进工艺芯片加工运用的光刻机遭到波长约束，14纳米及以下的逻辑器材微观结构的加工多经过等离子体刻蚀和薄膜堆积的工艺组合——多重模板工艺来完结，使得刻蚀等相关设备的加工过程增多。

　　LED工业链由衬底加工、LED外延片出产、芯片制作和器材封装组成。该工业链中首要触及的设备包含：衬底加工需求的单晶炉、多线切割机；制作外延片需求的MOCVD设备；制作芯片需求的光刻、刻蚀、清洗、检测设备；封装需求的贴片机、固晶机、焊线台和灌胶机等。

　　LED外延片的制备是LED外延片出产的重要过程，与集成电路在多种中心设备间循环的制作工艺不同，LED外延片首要经过MOCVD单种设备完结。MOCVD设备收购金额一般占LED出产线设备总投入的一半以上，是LED外延片制作中最重要的设备。

　　现在MOCVD设备首要用于氮化镓基及砷化镓基半导体资料外延成长，其间氮化镓基LED MOCVD首要用于出产氮化镓基LED和功率器材的外延片。

　　除用于制作通用照明和背光显现的蓝光LED，MOCVD设备还可制作运用于高端显现的Mini LED和Micro LED、用于灭菌消毒和空气净化的紫外LED、运用于电力电子的功率器材，跟着这些新式范畴的运用拓宽及逐步推广，氮化镓基MOCVD设备的商场规划有望进一步扩展。

　　曩昔几年，LED客户扩产的首要方向为蓝绿光外延片，运用范畴也首要在照明商场。在Mini LED背光及直接显现商场需求的推进下，近两年高端显现类的LED外延片需求量添加显着。依据Micro LED的高端显现运用也开端小规划试出产，估计在未来几年将会有更多的商场需求。依据TrendForce集邦咨询报导，跟着Mini LED背光显现浸透率的进步，以及Mini LED直接显现逐步进入商显等商场，Mini/Micro LED新式显现带来的LED外延片需求量将快速添加。

　　现在半导体设备商场首要由欧美、日本等国家的企业所占有。近年来我国半导体设备作业整体水平不断进步。

　　在刻蚀设备方面，全球刻蚀设备商场呈现独占格局，泛林半导体、东京电子、运用资料占有首要商场份额；公司刻蚀设备已运用于全球先进的7纳米和5纳米集成电路加工制作出产线。尽管公司在首要客户的商场占有率稳步进步，但现在在出售规划上与全球巨子尚有距离。

　　在MOCVD设备范畴，公司用于氮化镓基LED外延出产的MOCVD设备已在作业抢先客户出产线年起现已成为氮化镓基LED商场份额最大的MOCVD设备供货商，并持续坚持在作业界的抢先地位。

　　跟着芯片制程的不断进步，在每一代芯片新技能上，晶体管体积都在不断缩小，一起芯片功能不断进步，先进的芯片中已有超越100亿个晶体管。跟着工艺的进步，先进芯片从平面MOSFET结构过渡到FinFET（三维鳍式场效应晶体管）晶体管架构。跟着晶体管结构的复杂度不断进步，各种半导体设备技能的立异和打破起到抉择性作用，关于刻蚀和薄膜堆积技能提出了更高的要求。

　　刻蚀可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀。湿法刻蚀各向异性较差，侧壁简单发生横向刻蚀构成刻蚀误差，一般用于工艺尺度较大的运用，或用于干法刻蚀后清洗残留物等。干法刻蚀是现在干流的刻蚀技能，其间以等离子体干法刻蚀为主导。

　　等离子体刻蚀设备是一种大型真空的全自动的加工设备，一般由多个真空等离子体反响腔和主机传递体系构成。等离子体刻蚀设备的分类与刻蚀工艺密切相关，其原理是运用等离子体放电发生的带化学活性的粒子，在离子的炮击下，与外表的资料发生化学反响，发生可蒸发的气体，然后在外表的资料上加工出微观结构。

　　依据发生等离子体方法的不同，干法刻蚀首要分为电容性等离子体刻蚀和电理性等离子体刻蚀；依据被刻蚀资料类型的不同，干法刻蚀首要是刻蚀介质资料、硅资料和金属资料。电容性等离子体刻蚀首要是以高能离子在较硬的介质资料上，刻蚀深邃宽比的深孔、沟槽等微观结构；而电理性等离子体刻蚀首要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的或较薄的资料。这两种刻蚀设备涵盖了首要的刻蚀运用。

　　跟着世界上先进芯片制程从14纳米到10纳米阶段向7纳米、5纳米及更先进工艺的方向展开，当时光刻机受光波长的约束，需求结合刻蚀和薄膜设备，选用多重模板工艺，运用刻蚀工艺完结更小的尺度，使得刻蚀技能及相关设备的重要性进一步进步。下图展现10纳米多重模板工艺原理，触及屡次刻蚀：

　　芯片线宽的缩小及多重模板工艺等新制作工艺的选用，对刻蚀技能的精确度和重复性要求更高。刻蚀技能需求在刻蚀速率、各向异性、刻蚀误差、挑选比、深宽比、均匀性、残留物、等离子体引起的灵敏器材危害、颗粒沾污等指标上满意更高的要求，刻蚀设备随之更新前进，例如：刻蚀设备的静电吸盘从本来的4个分区扩展到超越20个分区，以完结更高要求的均匀性；更好的腔体温度操控进步出产重复性。

　　集成电路2D存储器材的线宽已挨近物理极限，NAND闪存已进入3D年代。现在64层3D NAND闪存已进入大出产，96层和128层闪存已处于批量出产阶段。3D NAND制作工艺中，添加集成度的首要方法不再是缩小单层上线宽而是添加堆叠的层数。刻蚀要在氧化硅和氮化硅的叠层结构上，加工40：1到60：1乃至更高的极深孔或极深的沟槽。3D NAND层数的添加要求刻蚀技能完结更高的深宽比。

　　制作照明用蓝光LED外延片的MOCVD技能已到达较为老练的阶段，MOCVD设备企业现在首要在进步大规划外延出产所需的功能、下降出产本钱、具有大尺度衬底外延才能等方面进行技能开发，以满意下流运用商场的需求。

　　公司运用于Mini LED新式显现运用的MOCVD设备已进入批量出产阶段，产品得到超越100腔的订单，现已批量运用在抢先客户出产线。

　　公司运用于Micro LED高端显现的MOCVD设备和运用于碳化硅功率器材的外延设备还处于研制阶段，后续首要将在进步产出波长均匀性，削减外延片颗粒度，进步芯片良率等方面进行技能打破，然后推进产品的不断前进，进步设备的自动化功能以及大尺度外延片加工才能。

　　世界国内先进逻辑器材工艺节点从14nm、7nm向5nm及更先进工艺方向展开，器材互联电阻逐步增大成为影响器材速度的要害要素。在90nm到28nm的传统工艺节点中，下降触摸孔电阻的要害是下降钨膜的电阻率。但是在14nm及更先进工艺节点，金属阻挡层、金属形核层对触摸孔阻值的影响越来越显着，怎么削减或许消除阻挡层和形核层的电阻是下降触摸孔电阻的要害。钴、钼、钌等金属的运用以及无阻挡层的工艺也在更先进工艺节点上开发和运用。先进逻辑器材还需求均匀性和安稳性更好的金属栅的填充技能，以进步器材的功能和安稳性。

　　跟着3D NAND堆叠层数添加，阶梯触摸孔的深宽比会到达40：1到60：1以上，这对氮化钛阻挡层的成长和极深邃宽比的钨填充都提出了更高的要求，堆叠层数的进步还需求更具挑战性的WL线路填充，包含更高的深宽比和更长的横向填充。

　　半导体在技能上的不断打破所带来的运用迭代，改动了许多传统作业亦催生出很多运用，如互联网、智能手机、人工智能、5G等新式工业。半导体的制作离不开半导体设备，半导体设备作业的持续展开间接地促进了各类新工业的诞生。

　　集成电路运用范畴中，以物联网为代表的新式工业，在可预见的未来内展开趋势明亮。人工智能、大数据、可穿戴设备、自动驾驶轿车、智能机器人等运用的展开将释放出很多芯片制作的需求，进一步推进上游半导体设备作业的稳步添加。

　　光电子LED工业中，以LED新式显现为代表的新式工业，逐步成为显现作业追逐的热门。当时新式的小距离LED显现在物理拼缝、显现作用、功耗、运用寿命方面均有优胜体现，未来跟着Mini LED和Micro LED技能的进一步展开和完善，LED新式显现工业有望成为继LED照明工业后MOCVD运用工业展开最敏捷的版块之一。

　　在化合物半导体功率器材范畴，跟着新基建、“碳达峰、碳中和”的方针与规划密布推出，化合物半导体在清洁动力、新动力轿车及充电桩、功率器材快充、大数据中心等运用商场的需求现已开端呈现出快速添加趋势。

　　4.1 一般股股东总数、表决权康复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东状况

　　1 公司应当依据重要性准则，宣布陈说期内公司运营状况的严重改动，以及陈说期内发生的对公司运营状况有严重影响和估计未来会有严重影响的事项。

　　2 公司年度陈说宣布后存在退市危险警示或停止上市景象的，应当宣布导致退市危险警示或停止上市景象的原因。

　　□适用 √不适用证券代码：688012证券简称：中微公司公告编号：2022-016

　　本公司监事会及整体监事确保本公告内容不存在任何虚伪记载、误导性陈说或许严重遗失，并对其内容的实在性、精确性和完好性依法承当法令责任。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）第二届监事会第四次会议于2022年3月30日在公司会议室以现场结合通讯会议方法举行。本次会议的告诉于2022年3月15日经过电话及邮件方法送达整体监事。会议应到会监事3人，实践到会监事3人，会议由监事会主席邹非女士掌管。会议的招集和举行程序契合有关法令、行政法规、部分规章、标准性文件和公司章程的规矩，会议抉择合法有用。

　　（一）审议经过《关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度陈说及摘要的方案》

　　依据相关法令、法规、标准性文件的规矩，公司编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度陈说及其摘要》。

　　监事会以为：公司2021年年度陈说公允反映了公司陈说期内的财政状况和运营作用，所包含的信息从各个方面实在地反映出公司陈说期内的运营办理和财政状况等事项；公司2021年年度陈说所宣布的信息实在、精确、完好，不存在虚伪记载、误导性陈说或严重遗失；未发现参与公司2021年年度陈说编制和审议的人员有违背保密规矩的行为。

　　依据相关法令、法规、标准性文件以及公司章程的规矩，归纳公司2021年年度运营及财政状况，公司编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度财政决算陈说》。

　　依据相关法令、法规、标准性文件以及公司章程的规矩，结合公司运营状况及资金需求，公司2021年度不分配赢利，本钱公积不转增。

　　（四）审议经过《关于公司2021年年度征集资金寄存与实践运用状况的专项陈说的方案》

　　依据相关法令、法规、标准性文件以及公司《征集资金办理方法》的规矩，结合本公司的实践状况，公司编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年度征集资金寄存与实践运用状况的专项陈说》。

　　依据财政活动的持续性特征，公司拟定2022年度续聘普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）为本公司进行2022年度财政陈说和内部操控的审计，并授权公司办理层依照商场状况，归纳考虑参与审计作业的项目组成员的经历、等级、投入时刻和作业质量归纳承认2022年度审计费用。

　　监事会以为：普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）具有从事证券、期货相关事务执业资历和为上市公司供给审计服务的经历和才能，在2021年的审计作业中，审计团队慎重敬业，方案组织详细，派驻的审计人员具有杰出的作业操行，审计作业经历丰厚，了解公司的运营展开状况，其为公司出具的审计陈说客观、公正地反映了公司的财政状况和运营作用，赞同续聘普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）为公司2022年度审计组织。

　　依据相关法令、法规、标准性文件以及公司章程、公司《监事会议事规矩》的规矩，公司监事会编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会2021年年度作业陈说》。

　　依据公司章程的规矩，结合公司实践运营展开状况，并参照作业、区域薪酬水平，公司拟定了2022年年度监事的薪酬方案。

　　依据《企业界部操控根本标准》、《企业界部操控点评指引》及配套指引的规矩和其他内部操控监管要求，公司对到2021年12月31日的内部操控有用性自我点评，在此基础上编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年度内部操控点评陈说》。

　　（九）审议经过《关于公司初次揭露发行股票募投项目结项并将节余征集资金永久弥补流动资金的方案》

　　结合公司实践运营状况，为进步资金运用功率，公司监事会赞同将初次揭露发行股票募投项目结项，并将项目结项后的节余征集资金永久弥补流动资金用于日常出产运营活动。

　　本公司董事会及整体董事确保本公告内容不存在任何虚伪记载、误导性陈说或许严重遗失，并对其内容的实在性、精确性和完好性依法承当法令责任。

　　●公司2021年度不分配赢利，是依据作业展开状况、公司展开阶段及本身运营形式、盈余水平及资金需求的归纳考虑。

　　经普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）审计承认，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）2021年度完结归归于上市公司股东的净赢利为1,011,423,670.06元，母公司完结的净赢利为890,210,403.52元。充沛考虑到公司现在处于展开期，运营规划不断扩展，资金需求较大，为更好地维护整体股东的长远利益，公司2021年度不分配赢利，本钱公积不转增。

　　公司2021年度不分配赢利，是依据作业展开状况、公司展开阶段及本身运营形式、盈余水平及资金需求的归纳考虑，首要状况如下：

　　半导体设备作业是一个全球化程度较高的作业，受世界经济动摇、半导体商场、终端消费商场需求影响，其展开往往呈现必定的周期性动摇。当微观经济和终端消费商场需求改动较大时，半导体出产厂商会调整其本钱性开销规划和对半导体设备的收购方案，然后对公司的运营收入和盈余发生影响。

　　在全球买卖争端不断、世界经济添加放缓、疫情影响持续在全球延伸、国内经济下行压力加大的布景下，全球半导体工业、LED工业及设备工业呈现震动展开态势。

　　公司首要从事半导体设备的研制、出产和出售，经过向下流集成电路、LED芯片、先进封装、MEMS等半导体产品的制作公司出售刻蚀设备和MOCVD设备、供给配件或服务完结收入和赢利。

　　公司所在的半导体设备作业归于技能、资金密布型作业，具有产品技能晋级快、研制投入大等特色。国外抢先的同作业可比公司均在研制上投入了很多资金，近年来首要可比公司年研制投入超越10亿美元。2021年公司研制投入为人民币7.28亿元，与国外抢先的半导体公司仍有较大距离。现在公司处于相对快速展开阶段，需求持续投入很多资金用于新一代刻蚀设备、薄膜设备以及宽禁带功率器材外延成长设备等新产品研制以及商场化等。

　　此外，为更好地完善公司的工业链布局，进一步进步公司的产能规划和归纳竞赛实力，公司正在上海临港新片区建造中微临港工业化基地及中微临港总部和研制中心，在南昌高新区建造中微南昌工业化基地。相关建造亦需求很多资金投入支撑。

　　2021年度公司完结归归于上市公司股东的净赢利为1,011,423,670.06元，母公司完结的净赢利为890,210,403.52元，公司盈余才能不断增强，整体财政状况向好。

　　2022年，公司将全力推进技能研制，注重中心技能的立异。在开发等离子体刻蚀设备和MOCVD设备的过程中，公司拟招募世界和国内一流的技能人才，坚持高额的研制投入。一起，为习惯运营规划的快速展开，公司将进一步进步质量管控和内部办理水平，不断做大做强，为整体股东发明较好的出资报答。在此过程中，公司需求更多的资金以确保方针的完结。

　　公司将持续坚持高额的研制投入以有力推进项目的研制进展，不断饯别外延式展开战略并活跃探索在相关范畴的出资时机。现在公司正处于快速展开的重要阶段，需求很多资金的支撑。

　　公司2021年度未分配赢利将累积结存至下一年度，以满意公司出产运营和项目出资带来的营运资金的需求。公司将持续严厉依照相关法令法规和《公司章程》等规矩，归纳考虑与赢利分配相关的各种要素，从有利于公司展开和出资者报答的视点动身，活跃施行公司的赢利分配方针，与广阔出资者同享公司展开的作用。

　　公司于2022年3月30日举行第二届董事会第五次会议审议经过了《关于公司2021年年度赢利分配预案的方案》，充沛考虑到公司现在处于展开期，运营规划不断扩展，资金需求较大，为坚持公司持续展开及资金流动性的需求，确保公司具有必要的、足够的资金以应对外部微观经济环境改动或许发生的运营危险，更好地维护整体股东的长远利益，依据相关法令、法规、标准性文件以及公司章程的规矩，赞同公司2021年度不分配赢利，本钱公积不转增，并赞同将该方案提交公司2021年年度股东大会审议。

　　为坚持公司持续展开及资金流动性的需求，公司2021年度不分配赢利的抉择契合公司当时的实践状况，契合法令法规及《公司章程》的规矩，赞同将该方案提交公司2021年年度股东大会审议。

　　本公司于2022年3月30日举行第二届监事会第四次会议审议经过了《关于公司2021年年度赢利分配预案的方案》，在充沛考虑公司业绩状况、出产运营需求以及未来展开资金需求等归纳要素的状况下，赞同不分配赢利、本钱公积不转增。该方案与公司展开规划相符，有利于公司的正常运营和健康展开，具有合法性、合规性、合理性，契合公司及整体股东的利益，因而赞同本次赢利分配方案并赞同将该方案提交本公司2021年年度股东大会审议。

　　（一）本次赢利分配方案结合了公司展开阶段、未来的资金需求等要素，不会对公司运营现金流发生严重影响，不会影响公司正常运营和长时刻展开。

　　（二）本次赢利分配方案需求提交公司2021年年度股东大会审议经过后方可施行。

　　本公司董事会及整体董事确保本公告内容不存在任何虚伪记载、误导性陈说或许严重遗失，并对其内容的实在性、精确性和完好性依法承当法令责任。

　　依据我国证监会《上市公司监管指引第2号——上市公司征集资金办理和运用的监管要求》、《上海证券买卖所科创板上市公司自律监管指引第1号——标准运作》和《上海证券买卖所科创板股票上市规矩（2020年12月修订）》等相关规矩，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会编制了2021年度（以下简称“陈说期”或“本陈说期”）征集资金寄存与实践运用状况专项陈说如下：

　　依据我国证券监督办理委员会于2019年7月1日签发的证监答应[2019]1168号文《关于赞同中微半导体设备（上海）股份有限公司初次揭露发行股票注册的批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内出资者初次揭露发行人民币一般股53,486,224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，计人民币155,163.54万元，扣除承销及保荐费用算计人民币8,782.84万元后，实践收到征集资金计人民币146,380.69万元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币算计1,810.41万元后，实践征集资金净额为人民币144,570.28万元（以下简称“首发征集资金”），上述资金于2019年7月16日到位，业经普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2019）第0411号验资陈说。

　　我国证券监督办理委员会于2021年3月3日出具证监答应[2021]645号文《关于赞同中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定方针发行股票注册的批复》核准了公司向特定方针发行80,229,335股人民币一般股A股股票。到2021年6月22日止，公司完结了人民币一般股A股80,229,335股的发行，每股发行价格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，算计人民币820,665.87万元，扣除承销及保荐费用算计人民币8,206.66万元（不含增值税）后，实践收到征集资金计人民币812,459.21万元，再扣除其他发行费用人民币算计642.96万元（不含增值税）后，实践征集资金净额为人民币811,816.24万元（以下简称“再融资征集资金”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资陈说。

　　到2021年12月31日，公司首发征集资金专户余额为人民币4,384.57万元（含征集资金利息收入扣减手续费净额）。详细状况如下：

　　到2021年12月31日，公司再融资征集资金专户余额为人民币167,701.42万元（含征集资金利息收入扣减手续费净额）。详细状况如下：

　　中微公司已依照《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《关于进一步加强股份有限公司揭露征集资金办理的告诉》、《上海证券买卖所上市公司征集资金办理方法（2013年修订）》等相关规矩的要求拟定《中微半导体设备（上海）股份有限公司征集资金办理方法》（以下简称“征集资金办理方法”），对征集资金施行专户存储准则，对征集资金的寄存、运用、项目施行办理、出资项目的改动及运用状况的监督等进行了规矩。该方法现已中微公司2019年度第一次暂时股东大会审议经过。

　　到2021年12月31日，没有运用的首发征集资金寄存专项账户的余额如下：

　　本公司依照规矩对IPO征集资金采纳了专户存储办理，开立了IPO征集资金专户，并于2019年7月与保荐组织海通证券股份有限公司、征集资金专户监管银行招商银行股份有限公司上海金桥支行、中信银行股份有限公司上海分行及我国建造银行股份有限公司上海浦东分行签署了《征集资金专户存储三方监管协议》。

　　到2021年12月31日，没有运用的再融资征集资金寄存专项账户的余额如下：

　　本公司依照规矩对再融资征集资金采纳了专户存储办理，开立了再融资征集资金专户，并别离于2021年4月与保荐组织海通证券股份有限公司、征集资金专户监管银行招商银行股份有限公司上海分行运营部、中信银行股份有限公司上海浦东分行、上海浦东展开银行股份有限公司张江科技支行及我国建造银行股份有限公司上海浦东分行签署了《征集资金专户存储三方监管协议》。

　　本陈说期本公司征集资金实践运用状况详见附表1 IPO征集资金运用状况对照表和附表2 再融资征集资金运用状况对照表。

　　2021年8月24日，公司第一届董事会第二十二次会议和第一届监事会第十六次会议审议经过了《关于运用征集资金置换预先投入的自筹资金的方案》，赞同公司运用本次发行征集资金置换预先投入的自筹资金算计人民币33,326.67 万元，其间预先投入到募投项目的自筹资金为33,105.98万元，预先付动身行费用的自筹资金为 220.69 万元。上述置换契合监管要求。

　　公司为进步征集资金运用效益，将部分暂时搁置征集资金经过告诉存款、结构性存款等存款方法或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产品等方法进行现金办理，出财物品的期限不超越 12 个月。

　　2020年6月30日，公司第一届董事会第十三次会议及第一届监事会第九次会议经过了《关于运用搁置征集资金进行现金办理的方案》，赞同在不影响征集资金项目建造和征集资金运用的状况下，拟运用额度不超越1,000,000,000元搁置征集资金进行现金办理，运用期限为自该次董事会审议经过之日起不超越 12 个月，在抉择有用期内本公司可在不超越上述额度及抉择有用期内循环翻滚运用。

　　到2021年12月31日，本公司运用搁置IPO征集资金进行现金办理的状况如下：

　　2021年7月9日，公司第一届董事会第二十一次会议及第一届监事会第十五次会议审议经过了《关于运用搁置征集资金进行现金办理的方案》，赞同公司运用额度不超越8, 000,000,000元搁置征集资金进行现金办理，运用期限自该次董事会审议经过起12个月内，在抉择有用期内本公司可在不超越上述额度及抉择有用期内循环翻滚运用。

　　到2021年12月31日，公司运用搁置再融资征集资金进行现金办理的状况如下：

　　到2021年12月31日，公司不存在征集资金出资项目对外转让或置换状况。

　　公司现已宣布的征集资金相关信息及时、实在、精确、完好；已运用的征集资金均投向所许诺的征集资金出资项目，不存在违规运用征集资金的景象。

　　七、管帐师事务所对公司年度征集资金寄存与运用状况出具的鉴证陈说的结论性定见

　　经鉴证，普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）以为：上述征集资金寄存与实践运用状况专项陈说在一切严重方面依照我国证券监督办理委员会公告[2022]15号《上市公司监管指引第2号-上市公司征集资金办理和运用的监管要求(2022年修订)》、上海证券买卖所公布的《上海证券买卖所上市公司自律监管指引第1号—标准运作》及《上海证券买卖所上市公司自律监管攻略第1号公告格局—第十六号上市公司征集资金寄存与实践运用状况的专项陈说》编制，并在一切严重方面照实反映了中微公司2021年度征集资金寄存与实践运用状况。

　　八、保荐组织对公司年度征集资金寄存与运用状况所出具专项核对陈说的结论性定见

　　经核对，保荐组织以为：公司2021年度征集资金的寄存与运用契合《上市公司监管指引第2号——上市公司征集资金办理和运用的监管要求》、《上海证券买卖所科创板股票上市规矩（2020年12月修订）》以及《上海证券买卖所上市公司征集资金办理方法（2013年修订）》等法令法规和标准性文件的规矩；公司2021年度对征集资金进行了专户存储和专项运用，不存在变相改动征集资金用处和危害股东利益的景象，不存在违规运用征集资金的景象。公司本年度征集资金运用不存在违背国家反洗钱相关法令法规的景象。

　　本公司董事会及整体董事确保本公告内容不存在任何虚伪记载、误导性陈说或许严重遗失，并对其内容的实在性、精确性和完好性依法承当法令责任。

　　●日常相关买卖对上市公司的影响：本次相关买卖属公司日常相关买卖，是正常出产运运营务，以商场价格为定价依据，遵从相等自愿准则，买卖危险可控，不存在危害公司及股东利益的状况，不会对相关人构成较大的依靠。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2022年3月30日举行第二届董事会第五次会议，审议经过《关于估计2022年年度日常相关买卖的方案》，相关董事GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）、朱民、杨征帆、ZHI YOU DU（杜志游）、张亮、张卫逃避了表决，此方案获到会会议的非相关董事共同表决经过。

　　公司独立董事已就该事项宣布了事前认可定见，并在董事会上宣布清晰的独立定见：公司2022年年度估计发生的日常相关买卖是公司依照公正、公正、揭露准则展开，相关相关买卖不会危害公司和整体股东的利益。公司在不断致力于削减相关买卖的一起，与相关方的相关买卖将持续遵从公正、合理的准则，两边的买卖行为均经过合同的方法予以约好。公司2022年年度估计发生的日常相关买卖价格公允，不会危害公司和非相关股东的利益。相关买卖对公司的财政状况、运营作用不会发生任何晦气影响，公司的首要事务也不会因而类买卖而对相关方构成依靠。

　　公司董事会审计委员会已就该事项宣布了书面审阅定见：公司2022年年度估计发生的日常相关买卖是公司依照公正、公正、揭露准则展开，不会危害公司和整体股东的利益，审议程序和表决程序契合《公司法》、《证券法》等法令法规以及《公司章程》的有关规矩。

　　本次相关买卖事项触及金额已到达3000万元以上，且占上市公司最近一期经审计总财物或市值1%以上，需提交公司股东大会审议，相关股东应在股东大会上对相关方案逃避表决。

　　注：上表中本次估计金额占同类事务份额核算公式的分母为2021年同类事务金额。

　　上海华力集成电路制作有限公司建立于2016年8月8日，法定代表人张素心，注册本钱2,960,000万元人民币，注册地址坐落上海市浦东新区良腾路6号。其运营范围为开发、规划、出售集成电路和相关产品，从事货品与技能的进出口事务。【依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动】。实践操控人为上海市国有财物监督办理委员会。

　　华灿光电（浙江）有限公司建立于2014年12月29日，上市公司华灿光电股份有限公司的全资子公司，法定代表人许菁麟，注册本钱380,450万元人民币，注册地址坐落浙江省义乌市苏溪镇苏福路233号。其运营范围为一般项目：半导体资料、半导体器材、电子资料、电子器材、半导体照明设备、LED芯片的规划、制作、出售；自有房子租借、机械设备租借；蓝宝石加工技能研制（除依法须经赞同的项目外，凭运营执照依法自主展开运营活动）。（除依法须经赞同的项目外，凭运营执照依法自主展开运营活动）。答应项目：货品进出口；技能进出口；危险化学品运营（依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动，详细运营项目以批阅效果为准）。（分支组织运营场所设在：分支组织1.运营场所：浙江省义乌市北苑大街西城路469街秀禾问茶3号-1753（我国（浙江）自由买卖试验区金义片区）（自主申报），运营范围：半导体资料、半导体器材、电子资料、电子器材、半导体照明设备、LED芯片的规划、出售；自有房子租借、机械设备租借；蓝宝石加工技能研制；货品进出口；技能进出口）。

　　华灿光电（姑苏）有限公司建立于2012年9月19日，上市公司华灿光电股份有限公司的全资子公司，法定代表人许菁麟，注册本钱150,000万元人民币，注册地址坐落张家港经济开发区晨丰公路。其运营范围为半导体资料与器材、电子资料与器材、半导体照明设备的规划、制作、出售；自营和署理各类产品及技能的进出口事务。（依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动）答应项目：危险化学品运营（依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动，详细运营项目以批阅效果为准）.

　　上海华力微电子有限公司建立于2010年1月18日，法定代表人张素心，注册本钱2,207,239.728万元人民币，注册地址坐落我国（上海）自由买卖试验区高斯路568号。其运营范围为开发、规划、加工、制作和出售集成电路和相关产品，从事货品及技能的进出口事务【依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动】。实践操控人为上海市国有财物监督办理委员会。

　　拓荆科技股份有限公司建立于2010年4月28日，法定代表人吕光泉，注册本钱9,485.8997万元人民币，注册地址坐落辽宁省沈阳市浑南区水家900号。其运营范围为一般项目：技能服务、技能开发、技能咨询、技能交流、技能转让、技能推广，电子专用设备制作，电子专用设备出售，半导体器材专用设备制作，半导体器材专用设备出售，机械零件、零部件加工，机械零件、零部件出售，出售署理，非寓居房地产租借（除依法须经赞同的项目外，凭运营执照依法自主展开运营活动）。

　　上海芯元基半导体科技有限公司建立于2014年10月24日，法定代表人郝旺盛，注册本钱675.0528万元人民币，注册地址坐落我国（上海）自由买卖试验区祥科路111号3号楼507-2室。其运营范围为从事半导体范畴内的技能开发、技能咨询、技能服务、技能转让，电子元器材、芯片及其电子配件的研制，半导体、电子元器材、芯片及其电子配件的出售，机电设备的规划、出售，从事货品及技能的进出口事务【依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动】。实践操控人为郝旺盛。

　　睿励科学仪器（上海）有限公司建立于2005年6月27日，法定代表人Feng Yang（杨峰），注册本钱427,941,881.48元人民币，注册地址坐落我国（上海）自由买卖试验区华佗路68号6幢。其运营范围为研制、出产半导体设备，出售自产产品，供给相关的技能服务。【依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动】。

　　上海集成电路研制中心有限公司建立于2002年12月16日，法定代表人赵宇航，注册本钱31,060万元人民币，注册地址坐落我国（上海）自由买卖试验区龙东大路3000号。其运营范围为芯片的制作、出售，集成电路规划及出售，相关范畴内的技能开发、技能咨询、技能服务、技能转让；出资，国内买卖（除专项批阅）；从事货品与技能的进出口事务【依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动】。

　　上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司建立于2020年04月10日，注册本钱为127,000万人民币，注册地址为上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室。其运营范围包含一般项目：集成电路规划；集成电路芯片及产品出售；集成电路芯片规划及服务；技能服务、技能开发、技能咨询、技能交流、技能转让、技能推广；机械设备租借；货品进出口；技能进出口【依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动】。

　　南昌昂坤半导体设备有限公司建立于2019年5月21日，法定代表人马铁中，注册本钱3000万元人民币，注册地址坐落江西省南昌市南昌高新技能工业开发区艾溪湖北路688号中兴科技园8号厂房一层。其运营范围为半导体器材专用设备的研制、出售；电子工业专用设备的出产、出售、装置、研制、技能转让、技能服务；软件开发；机械设备、仪器仪表、金属制品、五金交电、核算机及辅佐设备、软件的出售；自营或署理各类产品及技能的进出口事务。【依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动】。实践操控人为马铁中。

　　盛美半导体设备（上海）有限公司建立于2005年5月17日，法定代表人HUI WANG，注册本钱39,020.1347万元人民币，注册地址坐落我国（上海）自由买卖试验区蔡伦路1690号第4幢，其运营范围为规划、出产、加工电子专用设备及其零部件，出售公司自产产品，并供给售后技能服务和咨询服务。【依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动】。实践操控人为HUI WANG。

　　上海微电子配备（集团）股份有限公司建立于2002年3月7日，法定代表人干频，注册本钱14,702.3788万人民币，注册地址坐落我国（上海）自由买卖试验区张东路1525号。其运营范围为半导体配备、泛半导体配备、高端智能配备的开发、规划、制作、出售及技能服务，运营本企业自产产品的出口事务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅资料的进口事务（但国家限制公司运营或制止进出口的产品及技能在外）。【依法须经赞同的项目，经相关部分赞同后方可展开运营活动】。

　　上述相关方依法存续运营，两边买卖能正常结算，前期合同来往履行状况杰出。公司迁就上述买卖与相关方签署相关合同或协议并严厉依照约好履行，两边履约具有法令确保。

　　公司的相关买卖首要为向相关方出售产品及供给劳务，首要包含出售刻蚀设备及MOCVD设备及相应的备品备件、供给劳务等，相关出售价格首要依据客户在规格型号、产品标准、技能参数等方面的要求，依据商场公允价格承认，不同客户的产品在功能、结构等方面不同，出售价格会存在必定的差异。

　　公司与相关方买卖均遵从公正、公正、揭露的准则，依据商场价格定价、买卖；上述相关买卖均是公司的正常事务，有利于公司运运营务的展开，不存在危害公司和整体股东利益的行为；公司及相关人在事务、人员、财物、组织、财政等方面坚持独立，上述相关买卖不会对公司的独立性构成影响，公司的首要事务也不会因而类买卖而对相关方构成依靠。

　　上述2021年度日常相关买卖的履行状况及2022年度日常相关买卖估计现已公司董事会审议经过，相关董事予以逃避表决，独立董事宣布了事前认可定见和赞同上述买卖的独立定见，并将提交股东大会审议，上述决策程序契合《上海证券买卖所科创板股票上市规矩（2020年12月修订）》《公司章程》及公司相关买卖办理准则等相关规矩。

　　公司上述相关买卖事项均为公司展开日常运营活动所需，且与上述相关方之间的事务来往在公正的基础上按一般商场规矩进行，相关买卖遵从公允合理的定价准则，契合公司和整体股东的利益，不存在危害中小股东利益的状况，相关买卖对公司的财政状况、运营作用不会发生晦气影响，公司的首要事务也不会因而类买卖而对相关方构成依靠。

　　综上，保荐组织对中微公司2021年度日常相关买卖的履行状况及2022年度估计日常相关买卖事项无异议。

　　关于公司初次揭露发行股票募投项目结项并将节余征集资金永久弥补流动资金的公告

　　本公司董事会及整体董事确保本公告内容不存在任何虚伪记载、误导性陈说或许严重遗失，并对其内容的实在性、精确性和完好性依法承当法令责任。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）于2022年3月30日举行第二届董事会第五次会议、第二届监事会第四次会议,审议经过了《关于公司初次揭露发行股票募投项目结项并将节余征集资金永久弥补流动资金的方案》，赞同将初次揭露发行股票募投项目结项，并将项目结项后的节余征集资金永久弥补流动资金用于日常出产运营活动。独立董事对本次事项宣布了清晰赞同的独立定见，保荐组织海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”）对本次事项出具了清晰的核对定见。本次事项无需提交股东大会审议。详细状况公告如下：

　　依据我国证券监督办理委员会于2019年7月1日签发的证监答应[2019]1168号文《关于赞同中微半导体设备(上海)股份有限公司初次揭露发行股票注册的批复》，中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“本公司”)获准向境内出资者初次揭露发行人民币一般股53,486,224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，计人民币1,551,635,358.24元，扣除承销及保荐费用算计人民币87,828,416.48元(不含增值税)后，实践收到征集资金计人民币1,463,806,941.76元(以下简称“征集资金”)，再扣除发行中介及其他发行费用人民币算计18,104,149.00元(不含增值税)后，实践征集资金净额为人民币1,445,702,792.76元，上述资金于2019年7月16日到位，业经普华永道中天管帐师事务所(特别一般合伙)予以验证并出具了普华永道中天验字(2019)第0411号验资陈说。

　　依据《中微半导体设备（上海）股份有限公司初次揭露发行股票并在科创板上市招股阐明书》，本次揭露发行股票所征集的资金在扣除发行费用后详细出资项目如下：

　　公司本次结项的征集资金出资项目为“高端半导体设备扩产晋级项目”和“技能研制中心建造晋级项目”。到2021年12月31日，本次结项征集资金出资项目详细运用及节余状况如下：

　　除未运用资金16.52万元外，征集资金在项目出资期间进行现金办理。到2021年12月31日，公司征集资金专户余额为人民币43,845,669.50元(含征集资金利息收入扣减手续费净额)。

　　1、募投项目建造施行期间，经公司研讨和剖析，充沛运用现有厂房及设备、优化施工工艺，有用完结资源的合理装备；

　　2、在募投项目建造过程中，公司从项目的实践状况动身，在确保项目质量的前提下，坚持合理、节省、有用、慎重的准则，加强项目建造各个环节本钱费用的操控、监督和办理，合理下降项目总开销；

　　3、因征集资金出资项目建造需求必定的周期，依据征集资金出资项目建造进展，公司对短期内呈现的部分搁置征集资金进行了现金办理，有用进步了募资金的运用功率，添加了公司收益。

　　自初次揭露发行股票并上市以来，公司坚持高水平研制投入，事务规划坚持快速展开。公司本次“技能研制中心建造晋级项目”已出资完结，各研制课题顺利进行，设备已到达可运用状况，现在公司正活跃拓宽相关客户。“高端半导体设备扩产晋级项目”建造完结后，洁净室厂房面积得到进一步扩展，公司的出产才能和规划进一步进步，缓解了公司的产能压力。结合公司实践运营状况，为进步资金运用功率，公司拟将该项目结项后的节余征集资金永久弥补流动资金（实践金额以资金转出当日核算的该项目征集资金剩下金额为准），用于日常出产运营活动。待节余征集资金转出后，公司在招商银行股份有限公司上海金桥支行、中信银行股份有限公司上海浦东分行开立的征集资金专户刊出，公司在我国建造银行股份有限公司上海浦东分行的征集资金专户因为一起寄存超募资金，暂不刊出。相关征集资金专户刊出后，公司与保荐组织、开户银行签署的《征集资金专户存储三方监管协议》随之停止。

　　公司本次将初次揭露发行股票募投项目结项并将节余征集资金永久性弥补公司流动资金，用于公司日常运营活动，有利于进一步充盈公司现金流，进步资金运用功率，下降财政本钱，契合公司及整体股东的利益；该事项的内容和决策程序契合《上市公司监管指引第2号——上市公司征集资金办理和运用的监管要求》、《上海证券买卖所科创板上市公司自律监管指引第1号——标准运作》等相关法令法规及公司《征集资金办理准则》的规矩，不存在变相改动征集资金投向及危害公司和股东利益的景象。咱们赞同公司初次揭露发行股票募投项目结项并将节余征集资金永久弥补流动资金。

　　结合公司实践运营状况，为进步资金运用功率，公司监事会赞同将初次揭露发行股票募投项目结项，并将项目结项后的节余征集资金永久弥补流动资金用于日常出产运营活动。

　　公司初次揭露发行股票募投项目“高端半导体设备扩产晋级项目”和“技能研制中心建造晋级项目”结项并将节余征集资金永久弥补流动资金事项，现已公司董事会、监事会审议经过，独立董事宣布了清晰赞同定见，施行了必要的批阅程序。契合《上市公司监管指引第2号——上市公司征集资金办理和运用的监管要求》、《上海证券买卖所科创板上市公司自律监管指引第1号——标准运作》等相关法令法规及公司《征集资金办理准则》的规矩，契合整体股东的利益。

　　综上，保荐组织对公司初次揭露发行股票募投项目“高端半导体设备扩产晋级项目”和“技能研制中心建造晋级项目”结项并将节余征集资金永久弥补流动资金事项无异议。

　　本公司董事会及整体董事确保本公告内容不存在任何虚伪记载、误导性陈说或许严重遗失，并对其内容的实在性、精确性和完好性依法承当法令责任。

　　普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）（以下简称“普华永道中天”）前身为1993年3月28日建立的普华大华管帐师事务所，经赞同于2000年6月更名为普华永道中天管帐师事务一切限公司；经2012年12月24日财政部财会函[2012]52号赞同，于2013年1月18日转制为普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）。注册地址为我国（上海）自由买卖试验区陆家嘴环路1318号星展银行大厦507单元01室。

　　普华永道中天是普华永道世界网络成员组织，具有管帐师事务所执业证书，也具有从事H股企业审计事务的资质，一起也是原经财政部和证监会赞同的具有证券期货相关事务资历的管帐师事务所。此外，普华永道中天也在US PCAOB（美国大众公司管帐监督委员会）及UK FRC（英国财政报告局）注册从事相关审计事务。普华永道中天在证券事务方面具有丰厚的执业经历和杰出的专业服务才能。

　　普华永道中天的首席合伙人为李丹。到2021年12月31日，普华永道中天合伙人数为257人，注册管帐师人数为1401人，其间自2013年起签署过证券服务事务审计陈说的注册管帐师人数为346人。

　　普华永道中天经审计最近一个管帐年度（2020年度）事务收入总额为人民币61.15亿元，审计事务收入为人民币56.92亿元，证券事务收入为人民币28.61亿元。

　　普华永道中天的2020年度A股上市公司财政报表审计客户数量为103家，上市公司财政报表审计收费为人民币5.84亿元，首要作业包含制作业，金融业，交通运输、仓储和邮政业，房地工业及批发和零售业等，与本公司同作业(制作业)的A股上市公司审计客户共5家。

　　在出资者维护才能方面，普华永道中天已依照有关法令法规要求投保作业稳妥，作业稳妥累计补偿限额和作业危险基金之和超越人民币2亿元，作业危险基金计提或作业稳妥购买契合相关规矩。普华永道中天近3年无因执业行为在相关民事诉讼中承当民事责任的状况。

　　普华永道中天及其从业人员近三年未因执业行为遭到刑事处分、行政处分以及证券买卖所、作业协会等自律组织的自律监管办法、纪律处分；普华永道中天也未因执业行为遭到证监会及其派出组织的行政监管办法。普华永道中天四名初级职工因其个人出资行为违背独立性相关规矩，于2019年收到上海证监局对其个人出具的警示函，上述个人行为不影响普华永道中天质量操控体系的有用性或触及审计项目的执业质量，该四名人员随后均已从普华永道中天离任。依据相关法令法规的规矩，上述行政监管办法不影响普华永道中天持续接受或履行证券服务事务和其他事务。

　　项目合伙人及签字注册管帐师：林晓帆，注册管帐师协会执业会员，2005年起成为注册管帐师，2002年起开端从事上市公司审计，2021年起开端为本公司供给审计服务，2002年起开端在本所执业，近3年已签署或复核4家上市公司审计陈说。

　　质量复核合伙人：傅文轩，注册管帐师协会执业会员，2004年起成为注册管帐师，1999年起开端从事上市公司审计，2021年起开端为本公司供给审计服务，1999年起开端在本所执业，近3年已签署或复核6家上市公司审计陈说。

　　签字注册管帐师：胡玉琢，注册管帐师协会执业会员，2014年起成为注册管帐师，2011年起开端从事上市公司审计，2021年起开端为本公司供给审计服务，2011年起开端在本所执业，近3年已签署或复核2家上市公司审计陈说。

　　就拟聘任普华永道中天为中微公司的2022年度审计组织，项目合伙人及签字注册管帐师林晓帆先生、质量复核合伙人傅文轩先生及签字注册管帐师胡玉琢先生最近3年未遭到任何刑事处分及行政处分，未因执业行为遭到证券监督办理组织的行政监督办理办法，未因执业行为遭到证券买卖所、作业协会等自律组织的自律监管办法、纪律处分。

　　2021年度审计费用为人民币320万元。本期审计费用依照商场公允合理的定价准则与管帐师事务所洽谈承认。

　　公司董事会审计委员会在认线年度审计组织的方案》后，赞同续聘普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）为公司2022年度审计组织，并赞同授权公司办理层依照商场状况，归纳考虑参与审计作业的项目组成员的经历、等级、投入时刻和作业质量归纳承认2022年度审计费用。

　　普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）具有从事证券、期货相关事务执业资历和为上市公司供给审计服务的经历和才能。在2021年的审计作业中，审计团队慎重敬业，方案组织详细，派驻的审计人员具有杰出的作业操行，审计作业经历丰厚，了解公司的运营展开状况，其为公司出具的审计陈说客观、公正地反映了公司的财政状况和运营作用，赞同持续聘任普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）为公司2022年度审计组织，赞同将该方案提交公司第二届董事会第五次会议审议。

　　普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）具有从事证券、期货相关事务执业资历和为公司供给审计服务的经历和才能。在2021年的审计作业中，审计团队慎重敬业，方案组织详细，派驻的审计人员具有杰出的作业操行，审计作业经历丰厚，了解公司的运营展开状况，其为公司出具的审计陈说客观、公正地反映了公司的财政状况和运营作用，咱们赞同持续聘任普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）为公司2022年度审计组织，赞同将该方案提交公司股东大会审议。

　　公司于2022年3月30日举行第二届董事会第五次会议及第二届监事会第四次会议，审议经过《关于续聘公司2022年度审计组织的方案》，赞同续聘普华永道中天管帐师事务所（特别一般合伙）为公司2022年度审计组织，并提请股东大会授权公司办理层按商场价格洽谈承认审计酬劳。

　　本次续聘管帐师事务所事项需求提交公司股东大会审议，并自公司股东大会审议经过之日起收效。

　　（三） 投票方法：本次股东大会所选用的表决方法是现场投票和网络投票相结合的方法

　　选用上海证券买卖所网络投票体系，经过买卖体系投票渠道的投票时刻为股东大会举行当日的买卖时刻段，即9:15-9:25,9:30-11:30，13:00-15:00；经过互联网投票渠道的投票时刻为股东大会举行当日的9:15-15:00。

　　触及融资融券、转融通事务、约好购回事务相关账户以及沪股通出资者的投票，应依照《上海证券买卖所科创板上市公司自律监管指引第1号—标准运作》等有关规矩履行。

　　本次提交股东大会审议的方案现已公司第二届董事会第五次会议、第二届监事会第四次会议审议经过。相关公告已于2022年3月31日在上海证券买卖所网站（）及《我国证券报》、《上海证券报》、《证券时报》、《证券日报》予以宣布。公司将在2021年年度股东大会举行前，在上海证券买卖所网站(登载《2021年年度股东大会会议资料》。

　　本公司股东经过上海证券买卖所股东大会网络投票体系行使表决权的，既可以登陆买卖体系投票渠道（经过指定买卖的证券公司买卖终端）进行投票，也可以登陆互联网投票渠道（网址：进行投票。初次登陆互联网投票渠道进行投票的，出资者需求完结股东身份认证。详细操作请见互联网投票渠道网站阐明。

　　同一表决权经过现场、本所网络投票渠道或其他方法重复进行表决的，以第一次投票效果为准。

　　（一） 股权挂号日下午收市时在我国挂号结算有限公司上海分公司挂号在册的公司股东有权到会股东大会（详细状况详见下表），并可以以书面形式托付署理人到会会议和参与表决。该署理人不必是公司股东。

　　1、法人股东：应由法定代表人或许法定代表人托付的署理人到会会议。法定代表人到会会议的，应出示法人股东股票账户卡、自己身份证、能证明其具有法定代表人资历的有用证明；托付署理人到会会议的，署理人还应出示自己身份证、法人股东单位的法定代表人依法出具的书面授权托付书。到会会议的股东及股东署理人请带着相关证件原件参与。

　　2、个人股东：个人股东亲身到会会议的，应出示自己身份证或其他可以标明其身份的有用证件或证明、股票账户卡；托付署理别人到会会议的，署理人还应出示自己有用身份证件、股东授权托付书。

　　兹托付先生（女士）代表本单位（或自己）到会2022年4月27日举行的贵公司2021年年度股东大会，并代为行使表决权。

　　托付人应在托付书中“赞同”、“对立”或“放弃”意向中挑选一个并打“√”，关于托付人在本授权托付书中未作详细指示的，受托人有权按自己的志愿进行表决。

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